ผงขัดเงาซิลิคอนคาร์ไบด์สีเขียว (GC)
1. บทนำเบื้องต้น
ผงขัดซิลิคอนคาร์ไบด์สีเขียวเป็นผงละเอียดอัลฟาซิลิคอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง มีคุณสมบัติเด่นคือสีเขียวสดใส ความแข็งสูงมาก คุณสมบัติการลับคมตัวเองดีเยี่ยม เสถียรภาพทางเคมี และขนาดอนุภาคที่ควบคุมได้อย่างแม่นยำ จึงนิยมใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการขัดละเอียด การเจียรละเอียด และการขัดเงาแบบกระจกของวัสดุที่แข็งและเปราะ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ และเซรามิกอิเล็กทรอนิกส์
| การวิเคราะห์ทางเคมีทั่วไป | |
| ซีซี | ≥99.05% |
| ซิโอ2 | ≤0.20% |
| เอฟ,ซี | ≤0.03% |
| เฟ2โอ3 | ≤0.10% |
| เอฟซี | ≤0.04% |
| คุณสมบัติทางกายภาพทั่วไป | |
| ความแข็ง: | ค่าความแข็งโมห์ส: 9.5 |
| จุดหลอมเหลว: | ระเหิดที่อุณหภูมิ 2600 ℃ |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด: | 1900℃ |
| ความถ่วงจำเพาะ: | 3.20-3.25 กรัม/ซม³ |
| ความหนาแน่นรวม (LPD): | 1.2-1.6 กรัม/ซม³ |
| สี: | สีเขียว |
| รูปร่างของอนุภาค: | หกเหลี่ยม |
| ขนาดที่มีจำหน่าย: | |
| ผงละเอียด: JIS:240#280#320#360#400#500#600#700#800#1000#1200#1500#2000#2500#3000#4000#6000#8000#10000# ฟีด: F230 F240 F320 F360 F400 F500 F600 F800 F1000 F1200 F1500 F2000 | |
2. คุณสมบัติหลัก
- ความบริสุทธิ์สูง : ปริมาณ SiC ≥98.5%~99.0% มีซิลิคอนอิสระ เหล็ก และสิ่งเจือปนที่เป็นอันตรายในปริมาณต่ำ เหมาะสำหรับงานเซมิคอนดักเตอร์และเซรามิกอิเล็กทรอนิกส์ที่มีมาตรฐานสูง
- ความแข็งสูงมาก : ความแข็งตามมาตราโมห์ 9.2–9.5 ต่ำกว่าเพชรและ CBN เท่านั้น มีความสามารถในการตัดสูงและอายุการใช้งานยาวนาน
- การลับคมด้วยตัวเองที่ยอดเยี่ยม : เม็ดขัดจะค่อยๆ แตกออกระหว่างการขัด ทำให้เกิดคมตัดใหม่ๆ อย่างต่อเนื่อง และไม่เกิดการเสื่อมสภาพง่าย
- การนำความร้อนที่ดี : ระบายความร้อนได้อย่างรวดเร็วในระหว่างการเจียร ช่วยป้องกันความเสียหายจากความร้อนและรอยขีดข่วนเล็กๆ บนชิ้นงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ
- ความเฉื่อยทางเคมี : ทนต่อกรดและด่าง ทนต่อการออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง ไม่ก่อให้เกิดการปนเปื้อนต่อชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำสูง
- การควบคุมขนาดอนุภาค : การกระจายขนาดอนุภาคที่แคบ ระดับไมครอนละเอียด ช่วยให้ได้พื้นผิวกระจกที่เรียบเนียนเป็นพิเศษและมีความหยาบต่ำ
3. การใช้งานหลัก
- วัสดุเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์:การขัดเงาและการขัดผิวแบบละเอียดของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน, แผ่นรองพื้นแซฟไฟร์, ผลึกควอตซ์, แผ่นรองพื้นเซรามิก AlN/อลูมินา
- อุตสาหกรรมเซรามิกอิเล็กทรอนิกส์
- การขัดผิววัสดุเซรามิกอลูมินาอย่างแม่นยำ
- การลบคมและการตกแต่งผิวละเอียดของชิ้นส่วนบรรจุภัณฑ์และฉนวนเซรามิก
- การปรับพื้นผิวของเทปสีเขียว MLCC และชิ้นส่วนเซรามิกเพียโซอิเล็กทริกให้เรียบ
- เลนส์ และกระจกความแม่นยำสูง:เลนส์ออปติก ปริซึม ตัวเชื่อมต่อใยแก้วนำแสง การขัดเงาพื้นผิวกระจกสำหรับอุปกรณ์สวมใส่ด้วยความแม่นยำสูง
- โลหะผสมแข็งและแม่พิมพ์ความแม่นยำสูง: การขัดและตกแต่งผิวเครื่องมือคาร์ไบด์ หัวฉีด ตลับลูกปืนเซรามิก และแม่พิมพ์ความแม่นยำสูง
4. ข้อกำหนดทั่วไป
- ขนาดอนุภาค: FEPA F230–F2000; JIS #800–#10000
- เกรดอิเล็กทรอนิกส์ D50: 1~5 μm
- ลักษณะ: ผงสีเขียวบริสุทธิ์ มีความเหลวดี จับตัวเป็นก้อนน้อย
5. การเปรียบเทียบกับผงขัดเงาอลูมินาหลอมสีขาว
- ความแข็ง: ซิลิกาซิลิคอนไดออกไซด์สีเขียว > อลูมินาสีขาว ประสิทธิภาพการบดสูงกว่า
- ความทนทาน: อลูมินาสีขาวมีความทนทานสูงกว่า ซิลิกาซิลิคอนไดออกไซด์สีเขียวเปราะกว่าและลับคมได้ดีกว่า
- การตกแต่งพื้นผิว: ซิลิคอนคาร์ไบด์สีเขียว (Green SiC) ให้ความเรียบผิวที่ต่ำกว่าและคุณสมบัติการสะท้อนแสงที่ดีกว่าสำหรับเซรามิกอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำสูง
- การใช้งาน: อลูมินาสีขาวสำหรับงานเจียรหยาบหนัก; ซิลิกาซิลิคอนไดออกไซด์สีเขียวสำหรับงานขัดละเอียดและขัดเงาเหมือนกระจก