ซิลิคอนคาร์ไบด์สีเขียวเป็นสารขัดถูหลักที่ใช้ในการขัดผิวเวเฟอร์ เนื่องจากมีประสิทธิภาพในการประมวลผลสูง ความเสียหายต่อพื้นผิวต่ำ ประสิทธิภาพการทำงานที่เสถียร และความคุ้มค่าที่ยอดเยี่ยม จึงถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางในการขัดผิวและการขัดละเอียดระดับกึ่งละเอียดของเวเฟอร์ซิลิคอนสำหรับเซลล์แสงอาทิตย์และเซมิคอนดักเตอร์

ผงซิลิคอนคาร์ไบด์สีเขียวมีคุณสมบัติเด่นคือมีความแข็งสูง ขนาดอนุภาคสม่ำเสมอ และมีเสถียรภาพทางเคมีที่ดีเยี่ยม ให้ประสิทธิภาพการขัดเงาสูง พื้นผิวเวเฟอร์เรียบเนียนเป็นพิเศษ และลดความเสียหายใต้พื้นผิว จึงเป็นสารขัดถูที่เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการขัดเงาเวเฟอร์ซิลิคอน

ผสมผงไมโคร GC บริสุทธิ์สูงกับน้ำปราศจากไอออนหรือของเหลวตัวนำ PEG เพื่อสร้างสารขัดเงาแบบแขวนลอย ภายใต้แรงกดระหว่างแผ่นขัดและแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน อนุภาค GC จะกลิ้งและตัดพื้นผิวซิลิคอนในระดับไมโครเพื่อขจัดยอดที่ไม่เรียบอย่างสม่ำเสมอ ทำให้พื้นผิวเรียบโดยไม่ทำลายโครงสร้างผลึกอย่างรุนแรง

ข้อดีของผงไมโครซิลิกาคาร์บอนสีดำ ผงไมโครซิลิคอนคาร์ไบด์

ซิลิคอนคาร์ไบด์สีดำ (Black SiC, BSiC) เป็นวัสดุอุตสาหกรรมประสิทธิภาพสูงที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านโลหะวิทยา เนื่องจากมีความแข็งสูง จุดหลอมเหลวสูง ทนต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน และมีเสถียรภาพที่อุณหภูมิสูง

ซิลิคอนคาร์ไบด์สีเขียว (หรือเขียนว่า Green SiC) เป็นวัสดุขัดถูสังเคราะห์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ผลิตโดยการถลุงด้วยเตาไฟฟ้าอุณหภูมิสูงจากทรายควอตซ์คุณภาพสูง ปิโตรเลียมโค้ก และเกลืออุตสาหกรรม มีลักษณะเป็นผงหรือก้อนผลึกสีเขียวที่มีอนุภาคแหลมคมและเป็นเหลี่ยม