ผงซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่ผลิตในประเทศจีนส่วนใหญ่มีอยู่สองรูปแบบผลึก ได้แก่ α-SiC (รูปทรงหกเหลี่ยม/รูปทรงสี่เหลี่ยมขนมเปียกปูน ซึ่งเป็นรูปแบบหลักในอุตสาหกรรม) และ β-SiC (รูปทรงลูกบาศก์ ซึ่งเป็นเกรดละเอียดพิเศษ/ระดับนาโน) โดย SiC สีดำและ SiC สีเขียวเป็นเกรดเชิงพาณิชย์ที่พบได้ทั่วไป

ผงซิลิคอนคาร์ไบด์สีดำ (ผง SiC สีดำ) เป็นสารเติมแต่งละเอียดพิเศษที่มีความบริสุทธิ์สูง พัฒนาขึ้นเป็นพิเศษสำหรับสีอุตสาหกรรม สีเคลือบ และสารเคลือบป้องกันการกัดกร่อน ทั้งแบบที่ใช้น้ำเป็นตัวทำละลายและแบบที่ใช้ตัวทำละลายเป็นตัวทำละลาย

ผงไมโครซิลิคอนคาร์ไบด์สีเขียวมีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันได้ดี และมีคุณสมบัติทางเคมีที่เสถียร นิยมใช้กันอย่างแพร่หลายในฐานะสารเติมแต่งในวัสดุฉนวนกันความร้อนและวัสดุทนไฟ ซึ่งสามารถปรับปรุงเสถียรภาพโครงสร้างที่อุณหภูมิสูง เพิ่มความต้านทานต่อแรงอัดและความสามารถในการต้านทานการเกิดออกซิเดชัน และยืดอายุการใช้งานของชั้นฉนวนได้อย่างมีประสิทธิภาพ

ซิลิคอนคาร์ไบด์สีเขียวเป็นสารขัดถูหลักที่ใช้ในการขัดผิวเวเฟอร์ เนื่องจากมีประสิทธิภาพในการประมวลผลสูง ความเสียหายต่อพื้นผิวต่ำ ประสิทธิภาพการทำงานที่เสถียร และความคุ้มค่าที่ยอดเยี่ยม จึงถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางในการขัดผิวและการขัดละเอียดระดับกึ่งละเอียดของเวเฟอร์ซิลิคอนสำหรับเซลล์แสงอาทิตย์และเซมิคอนดักเตอร์

ผงซิลิคอนคาร์ไบด์สีเขียวมีคุณสมบัติเด่นคือมีความแข็งสูง ขนาดอนุภาคสม่ำเสมอ และมีเสถียรภาพทางเคมีที่ดีเยี่ยม ให้ประสิทธิภาพการขัดเงาสูง พื้นผิวเวเฟอร์เรียบเนียนเป็นพิเศษ และลดความเสียหายใต้พื้นผิว จึงเป็นสารขัดถูที่เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการขัดเงาเวเฟอร์ซิลิคอน

ผสมผงไมโคร GC บริสุทธิ์สูงกับน้ำปราศจากไอออนหรือของเหลวตัวนำ PEG เพื่อสร้างสารขัดเงาแบบแขวนลอย ภายใต้แรงกดระหว่างแผ่นขัดและแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน อนุภาค GC จะกลิ้งและตัดพื้นผิวซิลิคอนในระดับไมโครเพื่อขจัดยอดที่ไม่เรียบอย่างสม่ำเสมอ ทำให้พื้นผิวเรียบโดยไม่ทำลายโครงสร้างผลึกอย่างรุนแรง